Крионасос

Крионасос (также известный как холодный насос) - это разновидность оборудования со сверхвысоким вакуумом, которое использует принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции для извлечения воздуха. Он широко используется в процессе производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем PVD и ионной имплантации. Крионасос также используется в различных вакуумных приложениях, таких как моделирование космической среды, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и обнаружение вакуума.

Характеристики

♦ Высокая скорость откачки
♦ Безопасная и надёжная работа, а также низкая стоимость
♦ Интеллектуальная система автоматического управления
♦ Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
♦ Чистота и отсутствие загрязнений
♦ Превосходный предельный вакуум
♦ Функция быстрой регенерации
♦ Гибкая установка в любом направлении
♦ Можно создать систему с несколькими криогенными насосами и одним компрессором

Функция
Криогенный насос подходит для создания вакуума от 10-3 до 10-9 Па, особенно для задач, требующих безмасляного и быстрого откачивания, таких как напыление плёнок, испарительное покрытие, ионная имплантация, молекулярно-лучевая эпитаксия, устройства для моделирования космического пространства, оборудование для исследований в области физики высоких энергий, электронно-лучевые устройства, ускорительные трубки, устройства для анализа поверхности, масс-спектрометры, вакуумные вытяжные устройства и другие устройства, работающие в условиях высокого или сверхвысокого вакуума.

Технические характеристики

Стандартный крионасос:

Модель	Коленчатый Насос	CP200N/ICP200N	CP250N/ICP250N	CP300N/ICP300N	CP400/ICP400	CP500/ICP500
Модель	Прямой насос	CP200/ICP200	CP250/ICP250	CP300/ICP300	CP400/ICP400	CP500/ICP500
Грубый интерфейс перекачки		KF25	KF25	KF25	KF25	KF25
Входной фланец (может быть изготовлен по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями пользователя)		CF 200	CF 250	CF 300	ISO 400	ISO 500
		ISO 200	ISO 250	ISO 320	ISO 400	ISO 500
		ANSI 8 дюймов (NW)	10 дюймов по стандарту ANSI (NW)	12 дюймов по стандарту ANSI (NW)	ANSI 16 дюймов (NW)	ANSI 20 дюймов (NW)
Предельное давление		10-7 Па	10-7 Па	10-7 Па	10-7 Па	10-7 Па
Скорость откачки (л/с)	Для H2O	4000	6500	9500	16000	30000
	Для Воздуха	1500	2200	3200	6000	10000
	Для H2	2200	3200	5400	9000	12000
	Для Ar	1200	1800	2800	5000	8400
Пропускная способность (торр.л/с)	Для Ar	8.5	9	10	11.5	12
Вместимость (Std.l)	Для Ar	1000	1600	2000	2500	5500
Вместимость (Std.l)	Для H2	12	16	22	25	35
Время остывания (мин)		<100	<100	<150	<180	<210

♦ В модели префикс I обозначает встроенную интеллектуальную систему управления, а суффикс N — насос с горизонтальной конструкцией;
♦ Калибр от DN200 мм до DN500 мм;
♦ Входной фланец может быть выполнен по стандарту CF, ISO, ANSI или по индивидуальному заказу;
♦ Стандартная конфигурация серии CP: гелиевый компрессор, гелиевые шланги, датчик температуры, соединительные кабели;
♦ Стандартная конфигурация серии ICP: гелиевый компрессор, гелиевые шланги, соединительные кабели, вакуумный клапан, надувной клапан, вакуумная силиконовая трубка, интеллектуальный контроллер, регенеративный нагреватель, ручной привод.

Криокомпозиция большого диаметра:

Модель		CP630	CP800	CP1000LN	CP1250LN
Входной Фланец		ISO 630	ISO 800	ISO 1000	ISO 1250
Предельное давление (Па)		10-7 Па	10-7 Па	10-7 Па	10-7 Па
Скорость откачки (л/с)	Для H2O	46000	70000	110000	180000
	Для Air/N2	18000	28000	40000	57000
	Для H2	14000	30000	34000	60000
	Для Ar	13500	23000	32000	47000
Пропускная способность (торр.л/с)	Для Ar	14	18	18	18
Вместимость (Std.l)	Для Ar	6000	6000	7000	9000
Вместимость (Std.l)	Для H2	65	70	80	150
Время остывания (мин)		<180	<240	<240	<330
Расход LN2 (л / час)		-	-	16	20

♦ Калибр от DN630 мм до DN1250 мм;
♦ Структура и конфигурация могут быть изменены по запросу;
♦ В названии модели суффикс LN означает вспомогательное охлаждение жидким азотом.