Москва
7 (495) 777 4788
7 (495) 748 9626
Алматы
7 (727) 266 5599
7 (701) 505 8888
Минск
8 (029) 862 8287
8 (017) 226 9178

Перечень измеряемых газов



 

Детектируемый газ

Диапазон

Тип датчика

Аммиак NH3

0-75 ppm

GD-K77D, SC-90

Пентахлорид сурьмы SbCl5*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Пятифтористый мышьяк AsF5*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Арсин AsН3

0-1 ppm

0-0,2 ppm

GD-K77D, SC-90

Трихлорид бора BCl3*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Трифторид бора BF3*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Бром Br2*

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Окись углерода CO

0-75 ppm

0-150 ppm

0-300 ppm

GD-K77D, SC-90

Хлор Cl2

0-1,5 ppm

0-3 ppm

GD-K77D, SC-90

Трехфтористый хлор ClF3*

0-0,6 ppm

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Горючие газы

0-100% LEL

GD-A8

Диборан B2H6*

0-0,3 ppm

GD-K77D, SC-90

Дихлорсилан SiH2Cl2*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Дисилан Si2H6*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Фтор F2*

0-3 ppm

0-5 ppm

GD-K77D, SC-90

Водород H2

0-2000 ppm

GD-V77D

Бромоводород HBr*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Хлористый водород HCl

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Фтористый водород HF*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Иодоводород HI*

0-5 ppm

GD-K77D

Сероводород H2S

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Иод I2*

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Изофталевая кислота CH3CHOHCH3 (IPA)*

0-2000 ppm

GD-A8V

Фтористый молибден MOF4*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Окись азота NO

0-100 ppm

GD-K77D, SC-90

Двуокись азота NO2

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Трехфтористый азот NF3

0-30 ppm

GD-K8DG, GD-K77DG

Тетраокисел азота N2O4*

0-15 ppm

GD-K77D

Кислород O2

0-25 об.%

GD-F77D

Озон O3*

0-0,6 ppm

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Фосфин PH3

0-1 ppm

GD-K77D, SC-90

Оксихлорид фосфора POCl3*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Пентафторид фосфора PF5*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Трихлорид фосфора PCl3*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Трифторид фосфора PF3*

0-10 ppm

GD-K77D

Силан SiH4

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Тетрахлорид кремния SiCl4*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Тетрафторид кремния SiF4*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Двуокись серы SO2

0-30 ppm

GD-K77D, SC-90

Четырехфтористая сера SF4*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Фтористый тантал TaF5*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Тетраэтил ортосиликата Si(OC2H5)4 (TEOS)

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Четыреххлористый цинк ZnCl4*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Фтористый титан TiF4*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

Четыреххлористый титан TiCl4*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Трихлормоносилан SiHCl3*

0-15 ppm

GD-K77D, SC-90

Триметоксил бора B(OCH3)3 (TMB)*

0-500 ppm

GD-S8DG, GD-S77DG

Триметил фосфата P(OCH3)3 (TMP)*

0-100 ppm

GD-S8DG, GD-S77DG

Шестифтористый фольфрам WF6*

0-9 ppm

GD-K77D, SC-90

1,1,1 - трихлорэтан С2H3Cl3*

0-2000 ppm

GD-A8V