Перечень измеряемых газов

Детектируемый газ	Диапазон	Тип датчика
Аммиак NH₃	0-75 ppm	GD-K77D, SC-90
Пентахлорид сурьмы SbCl₅*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Пятифтористый мышьяк AsF₅*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Арсин AsН₃	0-1 ppm 0-0,2 ppm	GD-K77D, SC-90
Трихлорид бора BCl₃*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Трифторид бора BF₃*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Бром Br₂*	0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Окись углерода CO	0-75 ppm 0-150 ppm 0-300 ppm	GD-K77D, SC-90
Хлор Cl₂	0-1,5 ppm 0-3 ppm	GD-K77D, SC-90
Трехфтористый хлор ClF₃*	0-0,6 ppm 0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Горючие газы	0-100% LEL	GD-A8
Диборан B₂H₆*	0-0,3 ppm	GD-K77D, SC-90
Дихлорсилан SiH₂Cl₂*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Дисилан Si₂H₆*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Фтор F₂*	0-3 ppm 0-5 ppm	GD-K77D, SC-90
Водород H₂	0-2000 ppm	GD-V77D
Бромоводород HBr*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Хлористый водород HCl	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Фтористый водород HF*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Иодоводород HI*	0-5 ppm	GD-K77D
Сероводород H₂S	0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Иод I₂*	0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Изофталевая кислота CH₃CHOHCH₃ (IPA)*	0-2000 ppm	GD-A8V
Фтористый молибден MOF₄*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Окись азота NO	0-100 ppm	GD-K77D, SC-90
Двуокись азота NO₂	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Трехфтористый азот NF₃	0-30 ppm	GD-K8DG, GD-K77DG
Тетраокисел азота N₂O₄*	0-15 ppm	GD-K77D
Кислород O₂	0-25 об.%	GD-F77D
Озон O₃*	0-0,6 ppm 0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Фосфин PH₃	0-1 ppm	GD-K77D, SC-90
Оксихлорид фосфора POCl₃*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Пентафторид фосфора PF₅*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Трихлорид фосфора PCl₃*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Трифторид фосфора PF₃*	0-10 ppm	GD-K77D
Силан SiH₄	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Тетрахлорид кремния SiCl₄*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Тетрафторид кремния SiF₄*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Двуокись серы SO₂	0-30 ppm	GD-K77D, SC-90
Четырехфтористая сера SF₄*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Фтористый тантал TaF₅*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Тетраэтил ортосиликата Si(OC₂H₅)₄(TEOS)	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Четыреххлористый цинк ZnCl₄*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Фтористый титан TiF₄*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
Четыреххлористый титан TiCl₄*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Трихлормоносилан SiHCl₃*	0-15 ppm	GD-K77D, SC-90
Триметоксил бора B(OCH₃)₃ (TMB)*	0-500 ppm	GD-S8DG, GD-S77DG
Триметил фосфата P(OCH₃)₃ (TMP)*	0-100 ppm	GD-S8DG, GD-S77DG
Шестифтористый фольфрам WF₆*	0-9 ppm	GD-K77D, SC-90
1,1,1 - трихлорэтан С₂H₃Cl₃*	0-2000 ppm	GD-A8V